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傳感器與計(jì)算機(jī)、通信并稱為現(xiàn)代信息技術(shù)的三大支柱。當(dāng)計(jì)算機(jī)向深度學(xué)習(xí)、人工神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)等類人腦方向發(fā)展，通信向5G、6G、物聯(lián)網(wǎng)等方向發(fā)展，傳感器將何去何從？

傳感器被稱為“電五官”，其發(fā)展大致經(jīng)歷了三個(gè)階段：結(jié)構(gòu)型傳感器（始于20世紀(jì)50年代）、固體傳感器（始于20世紀(jì)70年代）、智能傳感器（始于20世紀(jì)末）。近年來，在需求牽引和技術(shù)推動的影響下，集成化、微型化、低功耗、高性能、智能化成為傳感器的整體發(fā)展趨勢，而MEMS傳感器就是這一趨勢下的重要方向之一。

MEMS傳感器增長迅速

2026年規(guī)?？蛇_(dá)893億元

MEMS（Micro-Electro-Mechanical System）即微機(jī)電系統(tǒng)，是集微傳感器、微執(zhí)行器、微機(jī)械結(jié)構(gòu)、微電源微能源、信號處理和控制電路、高性能電子集成器件、接口、通信等于一體的微型器件或系統(tǒng)。

MEM工藝流程（點(diǎn)擊看大圖）

MEMS產(chǎn)品尺寸一般在1μm~1mm之間（頭發(fā)直徑約50μm），可在微觀尺度上單獨(dú)或批量執(zhí)行傳感、控制和驅(qū)動操作，并在宏觀尺度上實(shí)現(xiàn)各類功能，兼具微型化、低成本、高效能、可大批量生產(chǎn)等優(yōu)點(diǎn)。

MEMS傳感器&執(zhí)行器（點(diǎn)擊看大圖）

MEMS產(chǎn)品主要分為MEMS傳感器和MEMS執(zhí)行器兩大類。其中MEMS傳感器是用于探測和檢測物理、化學(xué)、生物等現(xiàn)象和信號的器件，而MEMS執(zhí)行器是用于實(shí)現(xiàn)機(jī)械運(yùn)動、力和扭矩等行為的器件。

MEMS傳感器是整個(gè)MEMS市場的主力軍，占比約為74%。據(jù)Yole預(yù)測，MEMS傳感器全球市場規(guī)模將由2020年的90億美元增長至2026年的128億美元（折合人民幣893億元），CAGR（年均復(fù)合增長率）為6.1%，規(guī)模增長迅速。

MEM傳感器的主戰(zhàn)場

在下游應(yīng)用領(lǐng)域方面，消費(fèi)、汽車、工業(yè)、醫(yī)療、航空航天、通信等將成為MEMS傳感器的主戰(zhàn)場。

部分汽車傳感器

以汽車為例，一輛汽車就有上百個(gè)傳感器，智能型汽車甚至能達(dá)到200多個(gè)，常見的如汽車動力系統(tǒng)的氧傳感器、曲軸位置傳感器，底盤系統(tǒng)的加速度傳感器、扭矩傳感器，智能駕駛相關(guān)的激光雷達(dá)等，其中有相當(dāng)一部分為MEMS傳感器。

隨著智能汽車、新能源汽車等的不斷發(fā)展，為了追求更加健康、安全、舒適的駕乘體驗(yàn)，車載空氣質(zhì)量檢測、新能源車電池安全檢測等功能不斷出現(xiàn)，與之對應(yīng)的車載MEMS傳感器也愈加豐富。