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2022年3月8日消息，光刻機(jī)巨頭ASML官網(wǎng)發(fā)布了一則“關(guān)于額外出口管制的聲明”文章，文章中稱將對最先進(jìn)的沉積和浸沒式光刻機(jī)(DUV)實施出口管制措施。但ASML也表示，此次并不適用于所有浸潤式DUV設(shè)備，只涉及所謂“最先進(jìn)”的浸潤式光刻系統(tǒng)(DUV)，即TWINSCAN NXT：2000i及后續(xù)推出的浸潤式光刻系統(tǒng)。
ASML官網(wǎng)消息
ASML公司 浸潤式光刻系統(tǒng)(DUV)
ASML公司官網(wǎng)信息顯示，該公司DUV光刻機(jī)產(chǎn)品共有三款設(shè)備：TWINSCAN NXT：1980Di，TWINSCAN NXT：2000i和TWINSCAN NXT：2050i，其中2000i和2050i兩款是公司在聲明所指的“最先進(jìn)”的浸潤式光刻系統(tǒng)。
光刻機(jī)主要分為極紫外線(EUV)光刻機(jī)和深紫外線(DUV)光刻機(jī)，DUV光刻機(jī)可以用于制造7nm及以上制程的芯片，EUV主要用于7nm及以下先進(jìn)芯片制造工藝。
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ASML光刻機(jī)型號及制程 |
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光源 |
光刻機(jī)型號 |
可實現(xiàn)制程 |
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DUV |
NXT:1980Di |
14nm,10nm |
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NXT:2000i |
7 nm |
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NXT:2050i |
7 nm,5nm |
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EUV |
NXE:3400C |
7 nm,5nm |
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NXE:3600D |
5 nm,3nm |
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數(shù)據(jù)來源：ASML官網(wǎng) |
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早在2018年，美國政府游說荷蘭政府禁止ASML對華出口EUV光刻機(jī)，ASML無法向中國出口EUV光刻機(jī)。
ASML此次禁售TWINSCAN NXT：2000i及后續(xù)推出的浸潤式光刻系統(tǒng)(DUV)，將大大影響我國14nm以下制程芯片的突破，目前尚未知已售的TWINSCAN NXT：2000i及后續(xù)推出的浸潤式光刻系統(tǒng)后續(xù)維護(hù)保養(yǎng)是否受到影響。
3月9日，ASML回應(yīng)新出口管制：需要一定時間才能付諸立法并生效。
